项目说明:
多晶硅硅片喷砂机:
1.采用全球唐纳森脉冲式滤芯除尘系统, 环保效果好,无污染。
2、电控系统采用触摸屏操作,简单、方便、自动化程度高、稳定性好、故障率低。
3、设备安全系数高,电控系统能自动检测出各种故障率,并及时报警。
4、整机外观设计紧凑、新颖、大方。
5、采用吉川公司十多年研发设计的旋风分离器, 具有分量精度高,节省磨料。
6、加工效率高,针对性强,可适合多种大、小工件自动喷砂
本产品由上海吉川机械科技有限公司(http://www.66911896.com)生产制造,图片为实物拍摄,转载请说明出处。严禁未经允许用于商业用途,违者必究。
多晶硅硅片的生产工艺流程
1.切方磨圆
将矽单晶圆棒按尺寸要求,切割成矽单晶准方棒,并将切割
后的准方棒四角,用滚磨机磨圆。
2.酸洗
将检测合格的矽单晶准方棒放入配好的酸液中,除去表面杂
质,使其清洁便于下道工序。
3.粘胶
将清洁干净的矽单晶准方棒与工件板进行粘接。
4.切片
将粘好的矽单晶准方棒安装在切片机的切割工位上,通过设 定好的工艺参数,将其切割成片。
5.清洗脱胶
将切割后的矽片进行预清洗,除去表面附着的切削液等杂质
,并将预清洗后的矽片进行脱胶。
6.超声波清洗
将脱过胶的矽片插在矽片盒里并放入超声波清洗机中进行清
洗。
7.甩干
将超声波清洗后的矽片连盒插在甩干机的甩干工位上,通过
离心和加热将其表面甩干。
8.检片包装
对矽片进行检测,主要包括外观、厚度、电阻率、TTV与翘
曲度等,并将检测后的矽片按等级和发货类型进行分类并包
装。